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| 유량계 문의 |
| 이름 |
이재홍 |
작성일 |
03-08-08 13:39 |
조회 |
3,852 |
| 파일 |
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| 링크 |
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안녕하십니까?
유량계에 대해서 문의 드리겠습니다.
하기와 같은 환경에서 동작될 수 있는 유량계가 있는지요?
공정 : 반도체 제조 공정
사용 Chemical : NH4OH, H2O2
사용 Temp : Normal 80 도
설비에서 사용하는 PLC와 연계되어 유량 Data가 설비
에서 Monitoring되어야 함.
특히, Chemical과 고온이라는 특수성 있으므로
이에 대한 내구성이 어떤지 궁금합니다.
메일로 답변 부탁드립니다.
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